真空装置
1.- 真空焼結炉
2.- 真空蒸着装置
3.- CVD装置
4.- 真空乾燥炉
5.- スパッタ装置
6.- CVI装置 ・IAD(イオンアシスト蒸着法)装置
7.- 高温真空熱処理炉
8.- RIE装置
9.- イオンプレーティング装置
10.- (その他）
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